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技术资讯

AE Pinnacle 系列电源M/N对照表

2026年8月16日
苏州天人一电子科技
AE Pinnacle直流电源
AE Pinnacle TM / Plus 半导体溅射直流脉冲电源

文档基础信息

品牌厂商：Advanced Energy
产品系列：Pinnacle TM 标准直流电源 / Pinnacle Plus 脉冲直流电源
应用场景：磁控溅射、光学镀膜、ITO导电膜、金属/介质薄膜沉积、偏置工艺、半导体晶圆处理
区分说明：M/N为设备机身唯一零件编号，可区分功率、单双路输出、通讯协议、脉冲功能、设备定制版本

一、型号字段释义

  • M/N零件号：整机物料编码，末尾字母代表硬件版本；
  • 功率：单路Single / 双路Dual（格式A×A KW代表双路各A千瓦）；
  • 单双：Single=单输出通道，Dual=双独立输出通道；
  • 系列：Pinnacle TM 常规直流、Pinnacle Plus 带脉冲调制直流；
  • 描述：直流DC / 脉冲直流；
  • 协议：DC模拟IO、MDX数字总线；
  • 备注：设备定制信息、原厂特殊改版说明。文档中？表示不确定。

二、完整M/N型号对照表

M/N编号 功率规格 单/双路 产品系列 类型描述 通讯协议 备注
3152470-100 B 3KW Single Pinnacle TM 直流 DC
3152470-100 F 3KW Single Pinnacle TM 直流 DC
3152416-660 A 1.5×1.5KW Dual Pinnacle TM 直流 DC
3152434-116 D 5KW Single Pinnacle Plus 脉冲直流 DC
3152411-219 A 6KW Single Pinnacle TM 直流 MDX
3152412-117 A 6KW Single Pinnacle TM 直流 ？
3152413-123 G 5×5KW Dual Pinnacle TM 直流 MDX
3152413-116 A 5×5KW Dual Pinnacle TM 直流 MDX
3152437-350 A 5×5KW？ Dual Pinnacle Plus 脉冲直流 DC
3152431-103 F 5×5KW Dual Pinnacle Plus 脉冲直流 DC
3152436-101 V 5×5KW？ Dual Pinnacle Plus 脉冲直流 DC
3152439-301 D 10KW Single Pinnacle Plus 脉冲直流 DC
3152536-352 A 10KW Single Pinnacle Plus 脉冲直流 DC
3152536-356 G 10KW Single Pinnacle Plus 脉冲直流 ？
3152411-012 C 10KW Single Pinnacle TM 直流 ？
3152326-100A 6×6KW Dual ？ ？ ？
3152416-116 A 6×6KW？ Dual Pinnacle TM 直流 ？
3152415-104 P 12KW Single Pinnacle TM 直流 DC
3152415-531 J 12KW Single Pinnacle TM 直流 DC
3152391-105 K 20KW Single Pinnacle TM 直流 MDX
31502411-365 A 20KW Single Pinnacle TM 直流 DC AMAT设备定制款
3152411-268 20KW Single Pinnacle TM 直流 ？
3152391-107 N 20KW Single Pinnacle TM 直流 MDX
3152391-103 T 20KW Single Pinnacle TM 直流 ？
3152411-401 A 20KW Single Pinnacle TM 直流 ？
3152420-120 H 20KW Single Pinnacle TM 直流 MDX？
3152412-243 C 20KW Single Pinnacle TM 直流 MDX

三、系列核心差异说明

1. Pinnacle TM 标准直流电源
  • 纯连续直流输出，无脉冲调制功能；
  • 支持恒定电流、恒定电压、恒定功率三种闭环控制；
  • 通讯：0-10V模拟IO / MDX数字总线；
  • 适用普通金属溅射、低需求介质镀膜。
2. Pinnacle Plus 脉冲直流电源
  • 内置高频脉冲输出，抑制电弧打火，适配绝缘介质靶材；
  • 脉冲频率、占空比可本地面板或远程通讯调节；
  • 自带电弧检测与快速关断保护，降低靶材损伤；
  • 多用于ITO、SiO₂、Al₂O₃等绝缘薄膜溅射工艺。

四、常规通讯接口说明

  • DC模拟协议：0~10V电压设定功率/电流/电压，0~10V回读实时参数，数字光耦IO控制启停、故障信号；
  • MDX数字总线：Huettinger专用串行数字通讯，支持多台电源组网，读写完整工艺参数、故障代码、能量计时；
  • 双路Dual机型两路通道独立控制，可分别设定输出功率与闭环模式。

五、设备选型快速参考

  1. 金属靶材单层镀膜、无灭弧需求 → Pinnacle TM；
  2. 氧化层、绝缘介质靶材、易打火工艺 → Pinnacle Plus脉冲款；
  3. 单靶位腔体 → Single单路机型；双靶共腔独立控功率 → Dual双路；
  4. 简易设备仅模拟控制 → DC协议；自动化产线多电源联动 → MDX数字协议。

六、故障与通用注意事项

  • 整机必须可靠PE接地，双路机型两路输出共地；
  • 脉冲机型负载匹配不良会频繁报电弧故障，需检查靶材与线缆阻抗；
  • MDX总线通讯必须使用双绞屏蔽线，首尾终端电阻匹配；
  • 功率选型预留20%余量，避免长期满功率加速电源老化。