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AE射频电源维修故障分析,AE射频电源PE-II
2025年7月6日
苏州天人一电子科技
AE PE-II 10K
PE-II整体拓扑图如下,分为总线/辅助电源、主板、测量板、逆变器、逻辑板、显示面板(可选)等部分。
其物理参数(规格)为
电气规格方面,有三相400V输入,也有三相208V输入。
其内部集成7个档位(AE称之为TAP),对应不同的负载。当负载阻值较大时,需要提高TAP值,此时输出电压升高,输出电流降低,以达到负载的匹配。TAP1,电压最低、电流最高,TAP7电压最高、电流最低。
TAP档位的设置,可通过25针Analog模拟量接口的不同引脚(12、13、25脚)的高低电平来设置,具体见下图。
模拟量接口是一个25针的D型母头,位于电源背部的左下方。
其引脚定义如下:
恒压、恒流、恒功率模式,通过11、24脚的高低电平实现,默认是恒功率模式。
前面板上指示灯上通常有以下指示灯,分别表示互锁、输出、等离子、到达设定值、产生电弧、超温指示。正常工作输出时,互锁、输出、等离子、到达设定值4个指示灯常亮。
前面板有两种规格,AE厂家定义为Passive Front Panel和Active Front Panel,后者Active Front Panel一般俗称带面板,即此种机型可通过面板直接进行放电控制。而前者要通过外接模拟量信号才能控制。