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霍廷格射频电源维修故障分析,TruPlasma Bipolar 4010(50A)C_S功率不达标
2025年8月9日
苏州天人一电子科技
TruPlasma Bipolar 4010(50A)C_S
维修一台霍廷格射频电源,CT双通道20KW。型号TruPlasma Bipolar 4010(50A)C_S。
该电源在机台上功率设定18700的时候,只能到18400左右,且有下降趋势。根据客户描述和截图,更换前(正常状态)电压410V,电流47.4A左右。
换上该故障电源后,功率偏低300左右,电压偏低30左右。
经过和一台好的调换对比,定位到该故障问题在于电源背面的检测电路板。
继续检修发现是屏蔽铜片里面的一个运放不良,该运放型号为AD8052,将其更换后正常。